型號(hào)：XPT  800

適用范圍：PVD工.模具鍍膜

產(chǎn)品別名：多弧離子鍍膜機(jī)

電鍍電源：直流.脈沖電源

電鍍位置：耐磨涂層

鍍膜種類：離子金、離子銀、氮化鈦膜、碳化鈦膜、氮化鉻鋁膜、氮化鋯膜、鈦鋁合金膜、氮化鉻等超硬功能性金屬膜。

鍍膜原理：PVD物理沉積

腔體尺寸：單開門， 真空腔室700×700×780

真空機(jī)組：分子泵+羅茨泵+機(jī)械泵

極限真空：3.0×10^-4Pa

工件驅(qū)動(dòng)：柔性傳動(dòng)，主軸采用磁流體密封裝置

加熱系統(tǒng)：鎧裝加熱器，加熱溫度可達(dá)550℃，可鍍膜尺寸：Φ400×500mm

弧源種類：2套Φ150間冷多弧靶，電磁線圈控制磁場(chǎng)，靶材表面刻蝕更加均勻

偏壓電源：0-1000V

真空測(cè)量系統(tǒng)：皮拉尼 .冷陰極.薄膜規(guī).壓力計(jì)

氣路系統(tǒng)：4路質(zhì)量流量計(jì)可獨(dú)立控制

設(shè)備總功率：50KW~110KW

水冷卻系統(tǒng)：工業(yè)冰水機(jī)冷卻循環(huán)系統(tǒng)控制系統(tǒng)：PLC手、自動(dòng)操控系統(tǒng)，可完成設(shè)備流程設(shè)定及數(shù)據(jù)采集記錄等各項(xiàng)工作。